采用激光光源,实现更高功率,比LED光效更高 激光光源光学扩展量小,成像焦深大,对比度高 ηTM结构专利设计,具有更紧凑的尺寸,便于设备配置多个扫描引擎,实现更大尺寸和更高分辨率的曝光图像; 光纤耦合激光光源重量轻,可实现DLP引擎的高速运动和快速曝光; 采用了多波长光源,通过调节各波长输出配比,可控制曝光光刻胶的侧壁形貌。
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