关键参数： （1）分辨率：3um（小焦点管0.15mm） （2）最高电压：225kv/300kv（小焦点管450kv/600kv） （3）测量精度：10um+L/50 特点: （1）微米+小焦点双管配置，覆盖绝大部分应用； （2）大型样品 主要应用领域： （1）军工； （2）航空航天
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