关键参数： （1）分辨率：3um （2）最高电压：130kv （3）测量精度：5um+L/50 特点: （1）最小空间布局占地； （2）一键式CT操作 （3）小型零件 主要应用领域： （1）3C领域； （2）半导体； （3）增材制造
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